如果說(shuō)航空發(fā)動(dòng)機，代表了人類(lèi)科技領(lǐng)域發(fā)展的頂級水平，那么光刻機就是半導體工業(yè)界最為耀眼的明珠。
作為光刻工藝的核心設備，也是所有半導體制造設備中技術(shù)含量最高的設備，光刻機涉及到精密光學(xué)、精密運動(dòng)、高精度環(huán)境控制等多項先進(jìn)技術(shù)。
就在去年。
郁金香國的ASML成功推出了第一臺EUV光刻機NXE，也是第一臺第五代光刻機。
此后十年，乃至可預見(jiàn)的更長(cháng)的時(shí)間段中，...
笙簫劍客
不好意思，今天起晚了，本來(lái)六點(diǎn)半就醒了，被窩太暖和，又睡了一個(gè)回籠覺(jué)